什么是MEMS陀螺儀技術?
發布時間:2016-08-25 08:48

      MEMS陀螺儀即硅微機電陀螺儀,絕大多數的MEMS陀螺儀依賴于相互正交的振動和轉動引起的交變科里奧利力。MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)是指集機械元素、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機電系統。
      mems陀螺儀的特點:
  MEMS陀螺儀是利用 coriolis 定理,將旋轉物體的角速度轉換成與角速度成正比的直流電壓信號,其核心部件通過摻雜技術、光刻技術、腐蝕技術、LIGA技術、封裝技術等批量生產的,它主要特點是:
  1. 體積小、重量輕,其邊長都小于 1mm,器件核心的重量僅為1.2mg。
  2. 成本低  
      3. 可靠性好,工作壽命超過 10 萬小時,能承受1000g 的沖擊
      4. 測量范圍大
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